多晶硅石英坩堝的使用注意
半導體級高純多晶硅石英坩堝是拉制大直徑單晶硅的消耗性器皿,每生產一爐單晶硅就用掉一只坩堝。單晶硅是生產大規模集成電路的原材料,對坩堝的要求十分苛刻。一般國際上對多晶硅石英坩堝的要求:材質需要是高純度半導體級;耐高溫性強;坩堝的尺寸大;精度高;保溫性能好;節約能源;產品質量一致性好;穩定性高等特點。多晶硅石英坩堝在使用時應注意兩點:
1、多晶硅石英坩堝可在1700度以下灼燒,但灼燒溫度高于1100度石英會變成不透明,因此熔融溫度不應超過800度。
2、不能和HF接觸,高溫時,極易和苛性堿及堿金屬的碳酸鹽作用。
以上介紹的就是關于多晶硅石英坩堝的使用注意事項,大家可以簡單的了解下,后期如果想了解更多可以繼續關注我們。